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ChP/USP/EP/GMP 300L/H WFI 를 준비 하는 원료 물의 사전 처리 를 위한 디온화 된 물 시스템
| 용량: | 30L/H (사용자 정의 가능) |
|---|---|
| 파이프/탱크 재료: | 316L 스테인레스 스틸 (RA ≤ 0.6 μm) 또는 PVDF |
| 소독 방법: | 저온 살균 (80-85 ° C 사이클) 또는 오존 멸균 |
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반도체용 대용량 115m3/H 초순수 장비 (EDI 모듈 포함)
| 수질: | 저항성 ≥15-18.25 MΩ · cm |
|---|---|
| 유동률: | 115m³/h (사용자 정의 가능) |
| 핵심프로세스: | 이중 통과 역삼 투 + EDI + 연마 수지 |