전자 산업용 70T/Hour 산업 초순수 시스템

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x수질 | 저항성 ≥18.2 MΩ · cm (25 ° C) | 유동률 | 70m³/h (사용자 정의 가능) |
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핵심프로세스 | 이중 통과 역삼 투 + EDI + 연마 수지 | 핵심 부품 | RO 멤브레인 모듈, EDI 장치 |
전기 공급 | 380v/220 | 판매 후 서비스 | 2년 보증 |
조작 모드 | 완전 자동 | TOC | 0.5ppb |
용존 산소 | 5 Ppb | Ro 복구율 | >85% |
강조하다 | 70T/시간 초순수 시스템,70T/Hour 초순수 기계,전자 산업 초순수 시스템 |
전자 산업용 맞춤형 시간당 70톤 산업용 초순수 정수 시스템
I. 개요
초순수(UPW)는 전자 산업에서 반도체, 디스플레이 패널, 집적 회로 제조의 생명선입니다. 이는 나노 스케일 세척에서 원자 수준 증착에 이르기까지 모든 분야에서 극도의 순도를 요구하는 전자 제조의 “보이지 않는 칩”입니다. 순도는 제품 수율과 성능에 직접적인 영향을 미칩니다.
II. 주요 공정
원수→전처리(응집 + 침전 + 여과)→1차 RO→2차 RO→탈기→EDI→UV 살균→한외 여과→연마 혼합 베드→최종 여과→출수
III. 매개변수
비저항 | 18.2 MΩ·cm(25°C) | |||
TOC | 0.5 ppb | |||
용존 산소 | 5 ppb | |||
RO 회수율 | >85% | |||
RO 담수화율 | 99.50% |
IV. 전자 제조에서 초순수의 핵심 역할
웨이퍼 세척
에칭/리소그래피
화학적 기계적 연마
이온 주입
증기 산화
V. 적절한 견적을 받기 위한 지침
원수/수원(수돗물, 우물물, 해수 등)을 알려주세요.
수질 분석 보고서(TDS, 전도도 또는 비저항 등)를 제공하십시오.
필요한 생산 능력(5m³/H, 50m³/H 또는 500m³/H 등)
순수한 물의 용도(산업용, 식품 및 음료, 또는 농업 등)는 무엇입니까?