초순수 기계 실리콘 웨이퍼 / 생화학 초순수용 RO EDI 시스템

프로세스 소개

1 전처리

1. 전통적인 프로세스: 기계적 필터, 활성 탄소 필터 및 보안 필터로 구성됩니다.
2. 최신 프로세스: 기계적 필터, 보안 필터 및 초필트레이션 (UF) 으로 구성됩니다.

②역오스모스 시스템

1. 고압 펌프와 RO 막으로 구성되어 있습니다.
2. 1차 RO와 2차 RO로 나눌 수 있습니다.

3 닦기 처리 시스템

1. 이온 교환 및 마이크로 필터링 필터로 구성되어 있습니다.
2. EDI와 마이크로 필터링 필터로 구성됩니다.

프로세스 흐름

1. Pretreatment System → RO System → Intermediate Water Tank → Coarse Mixed Bed → Fine Mixed Bed → Pure Water Tank → Pure Water Pump → UV Sterilizer → Polishing Mixed Bed → Precision Filter → Water Usage Object (≥18 MΩ·cm) (traditional process)
2. 전처리 → RO → 중간 물 탱크 → 물 펌프 → EDI 장치 → 정제 물 탱크 → 순수 물 펌프 → 자외선 살균기 → 닦는 혼합 침 · 0.2 또는 0.5μm 정밀 필터 → 물 사용 물체 (≥18 MΩ·cm) (최근 프로세스)
3. 전처리 → 1차 RO → 투여 기계 (pH 조절) → 중간 물 탱크 → 2차 RO (긍정 전하 RO 막) → 순수 물 탱크 → 순수 물 펌프 → EDI 장치 → UV 살균기 → 0.2 또는 0.5μm 정밀 필터 → 물 사용 물체 (≥17 MΩ·cm) (최종 공정)
4. 사전 처리 → RO → 중간 물 탱크 → 물 펌프 → EDI 장치 → 순수 물 탱크 → 순수 물 펌프 → 자외선 살균기 → 0.2 또는 0.5μm 정밀 필터 → 물 사용 물체 (≥15 MΩ·cm) (최근 프로세스)
5. Pretreatment System → RO System → Intermediate Water Tank → Pure Water Pump → Coarse Mixed Bed → Fine Mixed Bed → UV Sterilizer → Precision Filter → Water Usage Object (≥15 MΩ·cm) (traditional process)

장비 특성

1. 높은 물 투명성 및 높은 해소율, 일반적으로 ≥98%.
2. 유기 물질, 콜로이드, 입자, 박테리아, 바이러스, 열원 등을 높은 차단 및 제거 효과
3. 낮은 에너지 소비, 높은 물 사용률, 다른 해산 장비보다 낮은 운영 비용.
4. 분리 과정에는 단계 변화가 없으며 안정성이 있습니다.
5. 소규모 장비, 간단한 조작, 간편한 유지 보수, 강력한 적응력, 긴 서비스 수명

사진: