シリコンウェーハ/生化学超純水用RO EDIシステム

プロセス紹介

1 前処理

1. 伝統的なプロセス:機械フィルター,活性炭フィルター,セキュリティフィルターで構成されています.
2. 最新のプロセス:機械フィルター,セキュリティフィルター,超濾過 (UF) で構成されています.

②リバースオスモースシステム

1. 高圧ポンプとRO膜で構成されています
2. 主要ROと二次ROに分けられる.

3 磨き処理システム

1. 離子交換とマイクロフィルタからなる
2. EDIとマイクロフィルタから構成される.

プロセスの流れ

1. Pretreatment System → RO System → Intermediate Water Tank → Coarse Mixed Bed → Fine Mixed Bed → Pure Water Tank → Pure Water Pump → UV Sterilizer → Polishing Mixed Bed → Precision Filter → Water Usage Object (≥18 MΩ·cm) (traditional process)
2. 前処理 → RO → 中間水タンク → 水ポンプ → EDI装置 → 浄化水タンク → 純水ポンプ → UVステリライザー → ポリシングミックスベッド → 0.2 または 0.5μm精密フィルター → 水の使用対象 (≥18 MΩ·cm) (最新のプロセス)
3. 前処理 → プライマリRO → ドージングマシン (pH調整) → 中間水タンク → 副次RO (正電荷RO膜) → 純水タンク → 純水ポンプ → EDI装置 → UVステリライザー → 02か0か.5μm精密フィルター → 水の使用対象 (≥17 MΩ·cm) (最新のプロセス)
4. 前処理 → RO → 中間水タンク → 水ポンプ → EDI 装置 → 純水タンク → 純水ポンプ → UV 滅菌剤 → 0.2 または 0.5μm精密フィルター → 水の使用対象 (≥15 MΩ·cm) (最新のプロセス)
5. Pretreatment System → RO System → Intermediate Water Tank → Pure Water Pump → Coarse Mixed Bed → Fine Mixed Bed → UV Sterilizer → Precision Filter → Water Usage Object (≥15 MΩ·cm) (traditional process)

設備の特徴

1. 水透性が高く,脱塩率が高く,通常は98%以上です.
2. 有機物質,コロイド,粒子,細菌,ウイルス,熱源などに対する高い傍受および除去効果
3. 低エネルギー消費,高水利用率,他の脱塩設備よりも低運用コスト.
4. 分離プロセスは相変化がなく,信頼性の高い安定性があります.
5. 設備の容量が小さく,操作が簡単で,保守が容易で,適応性が高く,寿命が長い.

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