110m3/H 에디 모듈을 가진 실리콘 웨이퍼 청소를 위한 초순수 처리 공장

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x수질 | 저항 ≥18.18 MΩ · cm @ 25 ° C | 유동률 | 110m³/h (사용자 정의 가능) |
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핵심프로세스 | 이중 통과 역삼 투 + EDI + 연마 수지 | 핵심 부품 | RO 멤브레인 모듈, EDI 장치 |
전기 공급 | 380v | 판매 후 서비스 | 2년 보증 |
조작 모드 | 완전 자동 | TOC | <0.5 ppb |
입자 | ≤1 입자/ml (> 0.05 μm) | 용존 산소 | ≤2 ppb |
강조하다 | 110m3/h 초순수처리,에디 모듈 초순수 처리,110m3/h 수처리 시설 |
여과 효율 향상 110m³/h EDI 모듈을 갖춘 실리콘 웨이퍼 세척용 초순수 처리 플랜트
I. 개요
초순수는 효율적이고 결함이 적은 태양광 전지 생산을 달성하기 위한 실리콘 웨이퍼 세척의 핵심 구성 요소입니다. 그 적용은 실리콘 웨이퍼 표면의 청결도, 소수 캐리어 수명, 궁극적으로 전지 효율을 직접 결정합니다.
업계 경험칙: 실리콘 웨이퍼 세척에 사용되는 초순수의 순도가 10배 증가할 때마다 최대 0.15%의 전지 효율 향상을 얻을 수 있습니다. — “태양광 경쟁력은 첫 방울의 초순수에서 시작됩니다.”
II. 공정
웨이퍼 로딩 → SC1 세척 → 초순수 린스 → HF 산 세척 → 초순수 린스 → SC2 세척 → 초순수 최종 린스 → 건조
III. 매개변수
매개변수 | 표준 값 | ||
저항 | ≥18.18 MΩ·cm @ 25°C | ||
TOC | <0.5 ppb | ||
Na⁺/K⁺ | <0.1 ppt | ||
Fe³⁺/Al³⁺ | <0.05 ppt | ||
Cl⁻ | <0.1 ppb | ||
입자 >0.05 μm | ≤1 particle/mL | ||
용존 산소 | ≤2 ppb |
IV. 적절한 견적을 받기 위한 지침입니다.
원수/수원(수돗물, 우물물 또는 해수 등)을 알려주세요.
수질 분석 보고서(TDS, 전도도 또는 저항 등)를 제공하십시오.
필요한 생산 능력(5m³/H, 50m³/H 또는 500m³/H 등)
순수한 물은 무엇에 사용됩니까(산업, 식품 및 음료 또는 농업 등)