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110m3/H 超純水処理プラント（シリコンウェーハ洗浄用、EDIモジュール付き）
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x商品の詳細
| 水質 | 抵抗性 ≥≥18.18 MΩ·cm @ 25°C | 流量 | 110m³/H（カスタマイズ可能） |
|---|---|---|---|
| 基本プロセス | 2度逆オスモス+EDI+磨き樹脂 | 主要部分 | RO膜モジュール、EDIユニット |
| 電力供給 | 380V | アフターサービス | 2年の保証 |
| 動作モード | 全自動 | トー・コ | <0.5 ppb |
| 微粒子 | ≤1 個/mL (0.05 μm より大きい) | 分解された酸素 | ≤2 ppb |
| ハイライト | 110m3/H 超純水処理,EDIモジュール超純水処理,110m3/H 水処理プラント |
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製品の説明
EDIモジュール搭載、シリコンウェーハ洗浄用110m³/h超純水処理プラントによるろ過効率の向上
I. 概要
超純水は、効率的で低欠陥の太陽電池製造を実現するためのシリコンウェーハ洗浄における主要な構成要素です。その用途は、シリコンウェーハ表面の清浄度、少数キャリア寿命、そして最終的にはセル効率を直接決定します。
業界の経験則：シリコンウェーハ洗浄に使用する超純水の純度を10倍向上させるごとに、最大0.15%のセル効率向上が達成できます—「太陽光発電の競争力は、最初の1滴の超純水から始まる。」
II. プロセス
ウェーハローディング → SC1洗浄 → 超純水リンス → HF酸洗浄 → 超純水リンス → SC2洗浄 → 超純水最終リンス → 乾燥
III. パラメータ
| パラメータ | 標準値 | ||
| 抵抗率 | ≥18.18 MΩ·cm @ 25°C | ||
| TOC | <0.5 ppb | ||
| Na⁺/K⁺ | <0.1 ppt | ||
| Fe³⁺/Al³⁺ | <0.05 ppt | ||
| Cl⁻ | <0.1 ppb | ||
| 粒子 >0.05 μm | ≤1 particle/mL | ||
| 溶存酸素 | ≤2 ppb |
IV. 適切な見積もりを得るためのガイドライン
原水/水源（水道水、井戸水、海水など）をお知らせください
水質分析レポート（TDS、導電率、抵抗率など）をご提供ください
必要な生産能力（5m³/H、50m³/H、または500m³/Hなど）
純水は何に使用しますか（工業用、食品・飲料、農業など）
