| Наименование марки: | HongJie |
| Могил: | > 1 комплект |
| Цена: | US$168700~US$174500 |
| Условия оплаты: | L/C, D/P, T/T, Western Union |
| Способность снабжения: | >300 комплектов/месяц |
Простая в установке система промышленных фильтров для воды 90 т/ч Система сверхчистой воды для подготовки химикатов электронного класса
I. Обзор
Сверхчистая вода является незаменимым сырьем при подготовке химикатов электронного класса (таких как высокочистые травильные растворы, фоторезисты и суспензии CMP). Ее чистота напрямую влияет на контроль металлических примесей, распределение частиц по размерам и стабильность партии в электронных химикатах.
При подготовке химикатов электронного класса сверхчистая вода является не только растворителем, но и чистой реакционной средой молекулярного уровня (экстремальная очистка, защита системы от загрязнения, производительный двигатель).II. Процесс
Исходная вода → Предварительная обработка: UF + умягчение → Первичный RO → Вторичный RO → Мембранная дегазация → EDI → UV + TOC деградация → Сверхточный смешанный слой (смола ядерного класса) → Терминальная ультрафильтрация (0,01 мкм) → Циркуляция с азотным уплотнением
III. Предельные параметры сверхчистой воды (стандарт SEMI C63)
Параметр
| Стандартное требование | Удельное сопротивление (25°C) | ||||
| ≥18,24 MΩ·см | TOC | ||||
| <0,1 ppb | Растворенный кислород (DO) | ||||
| <0,5 ppb | Частицы (≥0,05μm) | ||||
| <0,5 частиц/мл | Следы металлов | ||||
| - Na⁺/K⁺ | |||||
| ≤0,01 ppt | IV. Сценарии применения | ||||
| ≤0,02 ppt | - B | ||||
| ≤0,005 ppt | Анионы (Cl⁻/SO₄²⁻) | ||||
| ≤0,01 ppt | IV. Сценарии применения | ||||
Влажные электронные химикаты (плавиковая кислота, аммиачная вода)
Материалы для литографии (EUV фоторезист, проявитель)
Полировальная суспензия CMP (суспензия диоксида кремния/оксида церия)
Раствор для гальванического покрытия (раствор для гальванического покрытия)
V. Вот руководство, которое поможет вам получить правильное предложение
Сообщите нам исходную воду/источник воды (водопроводная вода, вода из скважины или морская вода и т. д.)
Предоставьте отчет об анализе воды (TDS, проводимость или удельное сопротивление и т. д.)
Требуемая производительность (5 м³/ч, 50 м³/ч или 500 м³/ч и т. д.)
Для чего используется чистая вода (промышленность, продукты питания и напитки или сельское хозяйство и т. д.)