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x제품 상세 정보
| 유동률 | 7m³/h (사용자 정의 가능) | 저항 (25 ° C) | ≈18.24 MΩ · cm |
|---|---|---|---|
| 핵심프로세스 | 이중 통과 역삼 투 + EDI | 핵심 부품 | RO 멤브레인 모듈, EDI 장치 |
| 조작 모드 | 완전히 자동화됩니다 | 제품 특징 | 안정적인 수질 생산량, 낮은 운영 비용 |
| 판매 후 서비스 | 24/7 기술 지원, 2 년 유지 보수 | TOC | <0.5 ppb |
| 강조하다 | 7톤/시간 초순수처리,에너지 효율적 인 초순수 처리,에너지 효율적인 순수 처리 시설 |
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제품 설명
I. 개요
초순수(UPW)는 웨이퍼 제조 공정의 순도를 유지하는 데 핵심적인 매개체입니다. 그 품질은 칩 수율과 성능에 직접적인 영향을 미치며, 웨이퍼 제조의 “보이지 않는 생명선” 역할을 합니다.
II. 공정
원수 → 원수 압력 펌프 → 멀티미디어 필터 → 활성탄 필터 → 연수기 → 정밀 필터 → 1차 RO → pH 조정 → 중간 물 탱크 → 2차 RO → 중간 물 탱크 → 중간 물 펌프 → EDI 시스템 → 정제수 탱크 → 순수 펌프 → UV 살균기 → 미세 다공성 필터 → 살균 → 물 사용 지점
III. 공정 특징
전체 공정에서 화학 오염 제로 (EDI가 산-염기 재생을 대체)
농축수 재활용, 절수율 > 30%
TOC/미생물 이중 UV 시너지 제어
다양한 공정 요구 사항에 맞게 온도 분할
IV. 매개변수
| 매개변수 | 칩 등급 요구 사항 (≤7nm) |
||||
| 비저항 (25°C) | ≈18.24 MΩ·cm | ||||
| TOC | < 0.5 ppb | ||||
| 입자 (> 0.05μm) | < 0.1 particle/ml | ||||
| 금속 이온 | < 0.1 ppt | ||||
| 용존 산소 (DO) | < 1 ppb | ||||
| 박테리아 | ≤0.01 CFU/ml |
V. 주요 응용 분야
웨이퍼 세척
화학적 기계적 연마 (CMP)
에칭 및 박막 증착
냉각 및 기능수
VI. 적절한 견적을 받기 위한 가이드라인
원수/수원(수돗물, 우물물, 해수 등)을 알려주세요.
수질 분석 보고서(TDS, 전도도 또는 비저항 등)를 제공하십시오.
필요한 생산 능력(5m³/H, 50m³/H 또는 500m³/H 등)
순수를 어디에 사용하시겠습니까(산업용, 식품 및 음료, 또는 농업 등)
