|
| نام تجاری: | HongJie |
| موق: | > = 1Sets |
| قیمت: | US$20500~US$21000 |
| شرایط پرداخت: | L/C،D/P،T/T،Western union |
| توانایی عرضه: | > 300Sets/ماه |
I. مرور کلی
آب فوق خالص (UPW) یک محیط کلیدی برای حفظ خلوص فرآیند در تولید ویفر است. کیفیت آن مستقیماً بر بازده و عملکرد تراشه تأثیر می گذارد و آن را به “خط حیات نامرئی” تولید ویفر تبدیل می کند.
II. فرآیند
آب خام → پمپ فشار آب خام → فیلتر چند رسانه ای → فیلتر کربن فعال → نرم کننده آب → فیلتر دقیق → RO اولیه → تنظیم pH → مخزن آب میانی → RO ثانویه → مخزن آب میانی → پمپ آب میانی → سیستم EDI → مخزن آب تصفیه شده → پمپ آب خالص → استریل کننده UV → فیلتر ریز متخلخل → پاستوریزاسیون → نقطه آب
III. ویژگی های فرآیند
آلودگی شیمیایی صفر در کل فرآیند (EDI جایگزین بازسازی اسید-باز می شود)
بازیافت آب متمرکز، صرفه جویی در آب > 30٪
کنترل هم افزایی UV دوگانه TOC/میکروب ها
تقسیم دما برای مطابقت با الزامات فرآیند مختلف
IV. پارامترها
| پارامتر | الزامات درجه تراشه (≤7nm) |
||||
| مقاومت (25°C) | ≈18.24 MΩ·cm | ||||
| TOC | < 0.5 ppb | ||||
| ذرات (> 0.05μm) | < 0.1 ذره/میلی لیتر | ||||
| یون های فلزی | < 0.1 ppt | ||||
| اکسیژن محلول (DO) | < 1 ppb | ||||
| باکتری ها | ≤0.01 CFU/ml |
V. کاربردهای اصلی
تمیز کردن ویفر
پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP)
حکاکی و رسوب فیلم
خنک کننده و آب عملکردی
VI. در اینجا یک راهنما برای دریافت یک نقل قول مناسب وجود دارد
منبع آب خام/آب (آب لوله کشی، آب چاه یا آب دریا و غیره) را به ما بگویید
گزارش تجزیه و تحلیل آب (TDS، هدایت یا مقاومت و غیره) را ارائه دهید
ظرفیت تولید مورد نیاز (5m³/H، 50m³/H یا 500m³/H و غیره)
آب خالص برای چه استفاده می شود (صنعتی، مواد غذایی و آشامیدنی یا کشاورزی و غیره)
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
हिन्दी
Türkçe
indonesia
tiếng Việt
ไทย
বাংলা
فارسی
polski