Planta de tratamiento de agua ultrapura de 7 toneladas/h de eficiencia energética para fabricación de obleas

I.Resumen general
El agua ultrapura (UPW) es un medio clave para mantener la pureza del proceso en la fabricación de obleas.lo que lo convierte en la "línea de vida invisible" de la fabricación de obleas.

II.Proceso
Raw Water → Raw Water Pressure Pump → Multimedia Filter → Activated Carbon Filter → Water Softener → Precision Filter → Primary RO → pH Adjustment → Intermediate Water Tank → Secondary RO → Intermediate Water Tank → Intermediate Water Pump → EDI System → Purified Water Tank → Pure Water Pump → UV Sterilizer → Microporous Filter →Pasteurization → Water Point

III. Características del proceso
Cero contaminación química durante todo el proceso (EDI sustituye la regeneración ácido-base)
Reciclaje de agua concentrada, ahorro de agua > 30%
Control sinérgico UV doble de la TOC/microbios
Temperatura dividida para adaptarse a los diferentes requisitos del proceso

IV.Parámetros

V. Principales aplicaciones
Limpieza de las obleas
Polido mecánico químico (CMP)
El grabado y la deposición de películas
Refrigeración y agua funcional

VI.Aquí hay una guía para obtener una cotización adecuada
Indique el agua cruda/fuente de agua ((agua de grifo, agua de pozo o agua de mar, etc.)
Proporcionar un informe de análisis del agua ((TDS, conductividad o resistividad, etc.)
Capacidad de producción requerida ((5m3/h, 50m3/h, o 500m3/h, etc.)
¿Para qué se utiliza el agua pura?