Impianto di trattamento dell'acqua ultrapura ad efficienza energetica di 7 t/h per la produzione di wafer

I.Visualizzazione
L'acqua ultrapura (UPW) è un mezzo chiave per mantenere la purezza del processo nella produzione di wafer.che lo rende la "linia di salvezza invisibile" della produzione di wafer.

II.Processo
Raw Water → Raw Water Pressure Pump → Multimedia Filter → Activated Carbon Filter → Water Softener → Precision Filter → Primary RO → pH Adjustment → Intermediate Water Tank → Secondary RO → Intermediate Water Tank → Intermediate Water Pump → EDI System → Purified Water Tank → Pure Water Pump → UV Sterilizer → Microporous Filter →Pasteurization → Water Point

III. Caratteristiche del processo
Inquinamento chimico zero durante l'intero processo (EDI sostituisce la rigenerazione acido-base)
Riciclaggio concentrato dell'acqua, risparmio idrico > 30%
Controllo sinergico doppio UV di TOC/microbi
Spartizione della temperatura per soddisfare le diverse esigenze di processo

IV.Parametri

V. Applicazioni principali
Pulizia dei wafer
Polizione chimica meccanica (CMP)
Etatura e deposizione della pellicola
Acqua di raffreddamento e acqua funzionale

VI.Questa è una guida per ottenere un preventivo adeguato
Ci dica l'acqua grezza/la fonte di acqua ((acqua del rubinetto, acqua di pozzo o acqua di mare, ecc.)
Fornire un rapporto di analisi dell'acqua ((TDS, conduttività o resistività, ecc.)
Capacità di produzione richiesta ((5m3/h, 50m3/h, o 500m3/h, ecc.)
A che cosa serve l'acqua pura (industriale, alimentare, agricola, ecc.)