Energieeffiziente 7 t/h Ultrareine Wasseraufbereitungsanlage zur Waferherstellung

I.Übersicht
Ultrareines Wasser (UPW) ist ein wichtiges Medium für die Aufrechterhaltung der Prozessreinheit in der Waferherstellung.Damit ist sie die "unsichtbare Lebensader" der Waferherstellung..

II.Verfahren
Raw Water → Raw Water Pressure Pump → Multimedia Filter → Activated Carbon Filter → Water Softener → Precision Filter → Primary RO → pH Adjustment → Intermediate Water Tank → Secondary RO → Intermediate Water Tank → Intermediate Water Pump → EDI System → Purified Water Tank → Pure Water Pump → UV Sterilizer → Microporous Filter →Pasteurization → Water Point

III.Prozessmerkmale
Null chemische Verschmutzung während des gesamten Prozesses (EDI ersetzt die Säure-Basen-Regeneration)
Konzentriertes Wasserrecycling, Wasserersparnis > 30%
Doppel-UV-synergistische Kontrolle von TOC/Mikroben
Temperaturspaltung für verschiedene Prozessanforderungen

IV.Parameter

V.Hauptanwendungen
Waferreinigung
Chemische mechanische Polierung (CMP)
Ätzen und Filmdeposition
Kühl- und Funktionswasser

VI.Hier ist eine Anleitung, wie Sie ein ordnungsgemäßes Angebot erhalten
Sagen Sie uns das Rohwasser/die Wasserquelle ((Kranwasser, Brunnenwasser oder Meerwasser usw.))
Bereitstellung eines Wasseranalyseberichts (TDS, Leitfähigkeit oder Widerstandsfähigkeit usw.)
Erforderliche Produktionskapazität ((5m3/h, 50m3/h oder 500m3/h usw.)
Was ist das reine Wasser für ((Industrie, Lebensmittel und Getränke, oder Landwirtschaft, etc.)