Nhà máy xử lý nước siêu tinh khiết 7 tấn/giờ tiết kiệm năng lượng cho sản xuất wafer

I.Tổng quan
Nước siêu tinh khiết (UPW) là một phương tiện quan trọng để duy trì độ tinh khiết trong quá trình sản xuất wafer. Chất lượng của nó trực tiếp ảnh hưởng đến năng suất chip và hiệu suất,làm cho nó trở thành "đường dây sống vô hình" của sản xuất wafer.

II.Việc xử lý
Raw Water → Raw Water Pressure Pump → Multimedia Filter → Activated Carbon Filter → Water Softener → Precision Filter → Primary RO → pH Adjustment → Intermediate Water Tank → Secondary RO → Intermediate Water Tank → Intermediate Water Pump → EDI System → Purified Water Tank → Pure Water Pump → UV Sterilizer → Microporous Filter →Pasteurization → Water Point

III.Các đặc điểm của quá trình
Không ô nhiễm hóa học trong toàn bộ quá trình (EDI thay thế tái tạo axit-base)
Tái chế nước tập trung, tiết kiệm nước > 30%
Kiểm soát phối hợp hai tia UV của TOC / vi khuẩn
Phân nhiệt độ để phù hợp với các yêu cầu quy trình khác nhau

IV.Các thông số

V. Ứng dụng chính
Làm sạch wafer
Sơn kim loại cơ khí (CMP)
Chụp và lắng đọng phim
Nước làm mát và nước hoạt động

Đây là một hướng dẫn cho bạn để có được một báo giá thích hợp
Cho chúng tôi biết nước thô / nguồn nước ((nước vòi, nước giếng, hoặc nước biển, vv)
Cung cấp báo cáo phân tích nước ((TDS, độ dẫn điện hoặc điện trở, vv)
Công suất sản xuất cần thiết ((5m3/h, 50m3/h, hoặc 500m3/h, v.v.)
Nước tinh khiết được sử dụng cho (( công nghiệp, Thực phẩm và đồ uống, hoặc nông nghiệp, vv)