Energiezuinige 7 ton/uur Ultra-zuiver Water Behandelingsinstallatie voor Wafelproductie

I. Overzicht
Ultra-zuiver water (UPW) is een essentieel medium voor het handhaven van proceszuiverheid in de waferfabricage. De kwaliteit ervan heeft directe invloed op de chipopbrengst en -prestaties, waardoor het de “onzichtbare levensader” van de waferfabricage is.

II. Proces
Ruw Water → Drukpomp voor Ruw Water → Multimediafilter → Actieve Koolfilter → Waterontharder → Precisiefilter → Primaire RO (Omgekeerde Osmose) → pH-aanpassing → Tussenwatertank → Secundaire RO → Tussenwatertank → Tussenwaterpomp → EDI-systeem → Gezuiverde Watertank → Zuiver Waterpomp → UV-sterilisator → Microporeus Filter → Pasteurisatie → Waterpunt

III. Proceskenmerken
Geen chemische vervuiling gedurende het gehele proces (EDI vervangt zuur-base regeneratie)
Recycling van geconcentreerd water, waterbesparing > 30%
Dubbele UV-synergistische controle van TOC/microben
Temperatuursplitsing om aan verschillende procesvereisten te voldoen

IV. Parameters

V. Belangrijkste Toepassingen
Waferreiniging
Chemisch-Mechanisch Polijsten (CMP)
Etsen en Film Deposition
Koel- en Functioneel Water

VI. Hier is een richtlijn om een ​​juiste offerte te krijgen
Vertel ons het ruwe water/de waterbron (kraanwater, putwater of zeewater, enz.)
Verstrek een wateranalyse rapport (TDS, geleidbaarheid of weerstand, enz.)
Vereiste productiecapaciteit (5m³/H, 50m³/H of 500m³/H, enz.)
Waar wordt het zuivere water voor gebruikt (industrieel, voedsel en drank of landbouw, enz.)