| نام تجاری: | HongJie |
| شماره مدل: | hj-upwse50t |
| موق: | > = 1Sets |
| قیمت: | US$44000~US$44500 |
| شرایط پرداخت: | L/C،D/P،T/T،Western union |
| توانایی عرضه: | > 300Sets/ماه |
I. مروری
آب فوق خالص نقش ضروری و بسیار مهمی در فرآیند لیتوگرافی ایفا می کند. لیتوگرافی یکی از اصلی ترین مراحل در تولید نیمه هادی ها است و آب فوق خالص درجه لیتوگرافی به عنوان تضمین اساسی برای تکامل مداوم «قانون مور» عمل می کند، با این نیاز که تمیزی و خلوص شیمیایی آن تقریباً به حد سختگیرانه ای برسد. آب فوق خالص (UPW) با محتوای ناخالصی بسیار کم، محیطی ایده آل برای برآورده کردن این الزامات سختگیرانه است. خلوص نهایی آن تضمین اساسی برای اطمینان از الگوهای لیتوگرافی دقیق، بدون نقص و نرخ بازده بالا است.
II. فرآیند
آب خام → فیلتراسیون چند مرحله ای → اسمز معکوس (RO) → الکترودیزاسیون (EDI) → اکسیداسیون هم افزایی UV-ازن → گاززدایی غشایی → پولیش بستر مخلوط دو مرحله ای → فیلتراسیون نهایی → مخزن آب مهر و موم شده با نیتروژن
III. پارامترها
| پارامتر | مقدار مورد نیاز |
| مقاومت ویژه | ≥18.18 MΩ·cm (25°C) |
| کربن آلی کل (TOC) | <0.5 ppb (الزامات سیال غوطه وری<1 ppt) |
| مواد ذره ای | >0.05μm ذرات<1 در میلی لیتر |
| اکسیژن محلول (DO) | <5 ppb |
| محتوای باکتریایی | <0.01 CFU/mL |
| دی اکسید سیلیکون (SiO₂) | <1 ppb |
| یون های بور/سدیم | <10 ppt |
IV. سناریوهای کاربردی
تمیز کردن ویفر
شستشوی پس از توسعه
رقیق سازی و تهیه مقاومت نوری/مواد شیمیایی
تمیز کردن تجهیزات و اجزا
V. در اینجا یک راهنما برای دریافت قیمت مناسب وجود دارد
منبع آب خام/آب (آب لوله کشی، آب چاه یا آب دریا و غیره) را به ما بگویید
گزارش تجزیه و تحلیل آب (TDS، هدایت یا مقاومت ویژه و غیره) را ارائه دهید
ظرفیت تولید مورد نیاز (5m³/H، 50m³/H یا 500m³/H و غیره)
آب خالص برای چه مواردی استفاده می شود (صنعتی، مواد غذایی و آشامیدنی یا کشاورزی و غیره)