| Merknaam: | HongJie |
| Modelnummer: | HJ-UPWSe50T |
| Moq: | >= 1 set |
| Prijs: | US$44000~US$44500 |
| Betalingsvoorwaarden: | L/C,D/P,T/T,Western Union |
| Leveringsvermogen: | > 300 stuks/maand |
I. Overzicht
Ultra-zuiver water speelt een onmisbare en cruciaal belangrijke rol in het lithografieproces. Lithografie is een van de meest essentiële stappen in de halfgeleiderfabricage, en lithografie-kwaliteit ultra-zuiver water dient als de fundamentele garantie voor de voortdurende evolutie van “Moore's Law,” waarbij de eisen voor reinheid en chemische zuiverheid bijna stringent zijn. Ultra-zuiver water (UPW), met zijn extreem lage onzuiverheidsgehalte, is het ideale medium om aan deze strenge eisen te voldoen. De ultieme zuiverheid ervan is de fundamentele garantie voor het waarborgen van precieze, defectvrije lithografiepatronen en hoge opbrengstpercentages.
II. Proces
Ruw water → Meerfasige filtratie → Omgekeerde osmose (RO) → Electrodeïonisatie (EDI) → UV-ozon synergistische oxidatie → Membraanontgassing → Dubbele fase gemengd-bed polijsten → Terminale filtratie → Stikstof-verzegelde watertank
III. Parameters
| Parameter | Vereiste waarde |
| Resistiviteit | ≥18.18 MΩ·cm (25°C) |
| Totaal Organisch Koolstof (TOC) | <0.5 ppb (Vereiste voor immersievloeistof <1 ppt) |
| Deeltjesmaterie | >0.05μm deeltjes <1 per mL |
| Opgeloste Zuurstof (DO) | <5 ppb |
| Bacteriële Inhoud | <0.01 CFU/mL |
| Siliciumdioxide (SiO₂) | <1 ppb |
| Borium/Natrium Ionen | <10 ppt |
IV. Toepassingsscenario's
Wafelreiniging
Wassen na ontwikkeling
Verdunnen en bereiden van fotolak/chemicaliën
Reiniging van apparatuur en componenten
V. Hier is een richtlijn om een goede offerte te krijgen
Vertel ons het ruwe water/de waterbron (kraanwater, putwater of zeewater, enz.)
Verstrek een wateranalyse rapport (TDS, geleidbaarheid of resistiviteit, enz.)
Vereiste productiecapaciteit (5m³/H, 50m³/H of 500m³/H, enz.)
Waar wordt het zuivere water voor gebruikt (industrieel, voedsel en drank, of landbouw, enz.)