المعادن الرئيسية (على سبيل المثال ، Fe ، Cu ، Na ، K) ≤1 ppt
تفاصيل التغليف:
تصدير حالة خشبية قياسية
إبراز:
معدات معالجة المياه فائقة النقاء 8000 جالون في الساعة
,
معدات معالجة المياه فائقة النقاء لصناعة الرقائق
,
معالجة المياه فائقة النقاء 8000 جالون في الساعة
وصف المنتج
مزودي معدات معالجة المياه 8000 غرام في الساعة مياه نقية للغاية لصناعة الرقائق مع آلة RO + وحدة EDI
I.المراجعة العامة في تصنيع الرقائق (الدارات المتكاملة) ، الماء النقي للغاية (UPW) هو مادة مساعدة رئيسية لا غنى عنها ، وغالبا ما يشار إليها باسم الدم الحيوي لصناعة أشباه الموصلات.وظيفته الأساسية هي إزالة آثار الشوائب (مثل الجسيمات، أيونات المعادن، والمركبات العضوية) من سطح رقائق من خلال التنظيف بدقة عالية، أو تخفيف، أو المشاركة في تفاعلات العملية، مما يؤثر بشكل مباشر على إنتاج رقاقة، والأداء،والموثوقية.
II.العملية 1العملية الرئيسية (منطبقة على عقدة العملية 14 نانومتر وما فوق): Raw Water → Multi-media Filtration → Activated Carbon → Ultrafiltration (UF) → Primary RO → Secondary RO → EDI → UV (185+254 nm) → Degasification → Polishing Mixed Bed → Final Ultrafiltration → Point of Use (POU)
2عملية متقدمة (مناسبة لعمليات متقدمة تتراوح بين 7 نانومترات وأقل): المياه الخام → التصفية الفوقية → RO المرحلة المزدوجة → الإعدام الكهربائي المستمر (CEDI) → الأشعة فوق البنفسجية (185 نانومتر) → إزالة الغازات من الغشاء → السرير المختلط الملمع النووي → 0.05μm نظام التصفية النهائي → نظام توزيع إعادة التدوير
III.المعلمات
فئة المعلمات
متطلبات تصنيع الشريحة
المقاومة (25°C)
≥18.2 MΩ·cm (القيمة النظرية القصوى للمياه النقية)
الكربون العضوي الكلي (TOC)
≤5 ppb (تتطلب بعض العمليات المتقدمة ≤1 ppb)
عدد الجسيمات
الجسيمات من 0.1μm ≤1 جزيئ/ميل؛ الجسيمات من 0.05μm ≤10 جزيئ/ميل
تركيز الأيونات المعدنية
المعادن الرئيسية (مثل Fe، Cu، Na، K) ≤ 1 نقطة
البكتيريا والسموم الغذائية
البكتيريا ≤1 CFU/100mL؛ السموم الداخلية ≤0.03 EU/mL
الغازات المذابة
الأكسجين المحلول ≤5 ppb؛ CO2 ≤1 ppb
IV.سيناريوهات التطبيق الأساسية تنظيف الوافرات: يزيل الملوثات الدقيقة لضمان أداء الجهاز (الغسل المادي ، التنظيف بمعاملات كيميائية) تحضير سائل العملية: يستخدم كمادة مخففة أو محلول (تخفيف الفوتوريسست، تحضير سائل الحفر/سائل التطوير) تنظيف المعدات والبيئة: يمنع التلوث المتقاطع (تنظيف معدات العملية، وصيانة بيئة الغرفة النظيفة)
هنا دليل لك للحصول على اقتباس مناسب
أخبرنا عن المياه الخام/مصدر المياه ((مياه الصنبور، مياه البئر، أو مياه البحر، إلخ) تقديم تقرير تحليل المياه ((TDS ، الموصلات ، أو المقاومة ، الخ) القدرة الإنتاجية المطلوبة ((5m3/H، 50m3/H،أو 500m3/H،الخ) ما هي المياه النقية المستخدمة ل ((الصناعية، الغذاء والمشروبات، أو الزراعة، الخ))