Контактное лицо : Eric
Номер телефона : +86 18038000078
whatsapp : +8618038000078

Оборудование для обработки сверхчистой воды 8000 галлонов в час для чиповой промышленности с установкой обратного осмоса + EDI

Место происхождения Шэньчжэнь, Китай
Фирменное наименование HongJie
Сертификация ISO 14001,ISO 9001,CE,EPA
Номер модели HJ-UPWCh30T
Количество мин заказа >= 1 серия
Цена US$66200~US$66500
Упаковывая детали Экспорт стандартный деревянный корпус
Время доставки 1-7 рабочих дней (зависит от запасов сырья)
Условия оплаты L/C, D/P, T/T, Western Union
Поставка способности >300 комплектов/месяц

Свяжитесь со мной для бесплатных образцов и купонов.

whatsapp:0086 18588475571

WeChat: 0086 18588475571

Skype: sales10@aixton.com

Если у вас есть какие-либо проблемы, мы предоставляем круглосуточную онлайн-помощь.

x
Подробная информация о продукте
Степень потока 30 м3/ч ((Можно настроить) Удельное сопротивление (25°C) ≥18,2 MΩ·см (Теоретическое максимальное значение для чистой воды)
Основной процесс Двухступенчатый обратный осмос + ЭДИ Основные компоненты Модули обратного осмоса, установки электродиализа
Режим работы Полно автоматизированный Характеристики продукта Стабильное качество воды на выходе, низкие эксплуатационные расходы
Электроснабжение 380 В ПОК ≤5 частей на миллиард (Некоторые передовые процессы требуют ≤1 часть на миллиард)
подсчет количества частиц Частицы размером 0,1 мкм ≤ 1 частица/мл; Частицы размером 0,05 мкм ≤ 10 частиц/мл Концентрация ионов металлов Ключевые металлы (например, Fe, Cu, Na, K) ≤1 ppt
Выделить

Оборудование для обработки сверхчистой воды 8000 галлонов в час

,

Оборудование для обработки сверхчистой воды для чиповой промышленности

,

Обработка сверхчистой воды 8000 галлонов в час

Оставьте сообщение
Характер продукции

Поставщики оборудования для очистки воды: установка для получения сверхчистой воды производительностью 8000 галлонов в час для чиповой промышленности с установкой обратного осмоса + EDI

 

I. Обзор
В производстве чипов (интегральных схем) сверхчистая вода (UPW) является незаменимым ключевым вспомогательным материалом, который часто называют «кровью полупроводниковой промышленности». Его основная функция заключается в удалении следовых примесей (таких как частицы, ионы металлов и органические соединения) с поверхности пластин посредством высокоточной очистки, разбавления или участия в технологических реакциях, что напрямую влияет на выход, производительность и надежность чипов.

 

II. Процесс
1. Основной процесс (применимо к технологическим узлам 14 нм и выше):
Исходная вода → Многослойная фильтрация → Активированный уголь → Ультрафильтрация (UF) → Первичный обратный осмос (RO) → Вторичный обратный осмос (RO) → EDI → УФ (185+254 нм) → Дегазация → Полировочный смешанный слой → Финишная ультрафильтрация → Точка использования (POU)

2. Усовершенствованный процесс (подходит для передовых процессов 7 нм и ниже):
Исходная вода → Ультрафильтрация → Двухступенчатый обратный осмос (RO) → Непрерывная электро-деионизация (CEDI) → Ультрафиолет (185 нм) → Мембранная дегазация → Полировочный смешанный слой ядерного класса → Финишная фильтрация 0,05 мкм → Система рециркуляции

 

III. Параметры

Категория параметров Требования к производству чипов
Удельное сопротивление (25°C) ≥18,2 MΩ·см (теоретическое максимальное значение чистой воды)
Общий органический углерод (TOC) ≤5 ppb (Некоторые передовые процессы требуют ≤1 ppb)
Количество частиц Частицы 0,1 мкм ≤1 частица/мл; Частицы 0,05 мкм ≤10 частиц/мл
Концентрация ионов металлов Ключевые металлы (например, Fe, Cu, Na, K) ≤1 ppt
Бактерии и эндотоксины Бактерии ≤1 КОЕ/100 мл; Эндотоксины ≤0,03 EU/мл
Растворенные газы Растворенный кислород ≤5 ppb; CO₂ ≤1 ppb

 

IV. Основные сценарии применения
Очистка пластин: удаляет микрозагрязнители для обеспечения производительности устройства (физическое ополаскивание, очистка химическими реагентами)
Подготовка технологической жидкости: используется в качестве разбавителя или растворителя (разбавление фоторезиста, приготовление травильной/проявляющей жидкости)
Очистка оборудования и окружающей среды: предотвращает перекрестное загрязнение (очистка технологического оборудования, поддержание чистоты окружающей среды в чистых помещениях)

 

V. Вот руководство, которое поможет вам получить правильное предложение

Сообщите нам исходную воду/источник воды (водопроводная вода, колодезная вода или морская вода и т. д.)
Предоставьте отчет об анализе воды (TDS, проводимость или удельное сопротивление и т. д.)
Требуемая производительность (5 м³/ч, 50 м³/ч или 500 м³/ч и т. д.)
Для чего используется чистая вода (промышленность, продукты питания и напитки или сельское хозяйство и т. д.)