فلزات کلیدی (به عنوان مثال ، آهن ، مس ، سدیم ، k) ≤1 ppt
جزئیات بسته بندی:
جعبه چوبی استاندارد صادرات
برجسته کردن:
تجهیزات تصفیه آب فوق خالص 8000gph
,
تجهیزات تصفیه آب فوق خالص در صنعت تراشه
,
8000 گرم در ساعت تصفیه آب فوق خالص
توضیح محصول
تامین کنندگان تجهیزات تصفیه آب 8000gph آب فوق خالص برای صنعت تراشه با دستگاه RO + واحد EDI
I. مرور کلی در تولید تراشه (مدار مجتمع)، آب فوق خالص (UPW) یک ماده کمکی کلیدی ضروری است که اغلب به عنوان “شریان حیاتی صنعت نیمه هادی” از آن یاد می شود. عملکرد اصلی آن حذف ناخالصی های ردیابی (مانند ذرات، یون های فلزی و ترکیبات آلی) از سطح ویفرها از طریق تمیز کردن با دقت بالا، رقیق سازی یا مشارکت در واکنش های فرآیند است که مستقیماً بر بازده، عملکرد و قابلیت اطمینان تراشه تأثیر می گذارد.
II. فرآیند 1. فرآیند اصلی (قابل اجرا برای گره های فرآیند 14 نانومتری و بالاتر): آب خام → فیلتراسیون چند رسانه ای → کربن فعال → اولترافیلتراسیون (UF) → RO اولیه → RO ثانویه → EDI → UV (185+254 نانومتر) → گاززدایی → بستر مخلوط پولیش → اولترافیلتراسیون نهایی → نقطه استفاده (POU)
2. فرآیند پیشرفته (مناسب برای فرآیندهای پیشرفته 7 نانومتری و زیر): آب خام → اولترافیلتراسیون → RO دو مرحله ای → الکترو دیونیزاسیون پیوسته (CEDI) → فرابنفش (185 نانومتر) → گاززدایی غشایی → بستر مخلوط پولیش درجه هسته ای → فیلتراسیون نهایی 0.05μm → سیستم توزیع گردش مجدد
III. پارامترها
دسته بندی پارامتر
الزامات تولید تراشه
مقاومت (25 درجه سانتیگراد)
≥18.2 MΩ·cm (حداکثر مقدار نظری آب خالص)
کربن آلی کل (TOC)
≤5 ppb (برخی از فرآیندهای پیشرفته به ≤1 ppb نیاز دارند)
شمارش ذرات
ذرات 0.1μm ≤1 ذره در میلی لیتر؛ ذرات 0.05μm ≤10 ذره در میلی لیتر
غلظت یون فلزی
فلزات کلیدی (به عنوان مثال، Fe، Cu، Na، K) ≤1 ppt
باکتری ها و اندوتوکسین
باکتری ها ≤1 CFU/100mL؛ اندوتوکسین ≤0.03 EU/mL
گازهای محلول
اکسیژن محلول ≤5 ppb؛ CO₂ ≤1 ppb
IV. سناریوهای کاربردی اصلی تمیز کردن ویفر: حذف میکرو آلاینده ها برای اطمینان از عملکرد دستگاه (شستشوی فیزیکی، تمیز کردن با مواد شیمیایی) تهیه سیال فرآیند: به عنوان رقیق کننده یا حلال استفاده می شود (رقیق سازی مقاومت نوری، تهیه مایع اچ/مایع توسعه دهنده) تمیز کردن تجهیزات و محیط: جلوگیری از آلودگی متقابل (تمیز کردن تجهیزات فرآیند، نگهداری از محیط اتاق تمیز)
V. در اینجا یک راهنما برای دریافت یک نقل قول مناسب وجود دارد
منبع آب خام/آب را به ما بگویید (آب لوله کشی، آب چاه یا آب دریا و غیره) گزارش تجزیه و تحلیل آب (TDS، هدایت یا مقاومت و غیره) را ارائه دهید ظرفیت تولید مورد نیاز (5 متر مکعب در ساعت، 50 متر مکعب در ساعت یا 500 متر مکعب در ساعت و غیره) آب خالص برای چه استفاده می شود (صنعتی، مواد غذایی و آشامیدنی یا کشاورزی و غیره)
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
हिन्दी
Türkçe
indonesia
tiếng Việt
ไทย
বাংলা
فارسی
polski
