Çip endüstrisi için ultra saf su arıtma ekipmanı 8000 gph RO makinesi + EDI ünitesi ile

Çip Endüstrisi İçin RO Makinesi + EDI Ünitesi İle 8000gph Ultra Saf Su Tedarikçileri

I. Genel Bakış
Çip (entegre devre) üretiminde, ultra saf su (UPW) vazgeçilmez bir yardımcı malzemedir ve genellikle “yarı iletken endüstrisinin can damarı” olarak adlandırılır. Temel işlevi, yüksek hassasiyetli temizleme, seyreltme veya proses reaksiyonlarına katılım yoluyla, gofret yüzeyinden eser miktarda kirleticileri (partiküller, metal iyonları ve organik bileşikler gibi) uzaklaştırmaktır ve doğrudan çip verimini, performansını ve güvenilirliğini etkiler.

II. Proses
1. Ana akım proses (14nm ve üzeri proses düğümleri için geçerlidir):
Ham Su → Çoklu Ortam Filtrasyonu → Aktif Karbon → Ultrafiltrasyon (UF) → Birincil RO → İkincil RO → EDI → UV (185+254 nm) → Gaz Giderme → Parlatma Karışık Yatak → Son Ultrafiltrasyon → Kullanım Noktası (POU)

2. Gelişmiş proses (7nm ve altı gelişmiş prosesler için uygundur):
Ham su → Ultrafiltrasyon → Çift kademeli RO → Sürekli Elektro-deiyonizasyon (CEDI) → Ultraviyole (185 nm) → Membran Gaz Giderme → Nükleer sınıfı Parlatma Karışık Yatak → 0.05μm Son Filtrasyon → Geri Dönüşüm Dağıtım Sistemi

III. Parametreler

IV. Temel Uygulama Senaryoları
Gofret Temizleme: Cihaz performansını sağlamak için mikro kirleticileri giderir (fiziksel durulama, kimyasal reaktiflerle temizleme)
Proses Sıvısı Hazırlama: Seyreltici veya çözücü olarak kullanılır (fotoresist seyreltme, aşındırma sıvısı/geliştirme sıvısı hazırlama)
Ekipman ve Çevre Temizliği: Çapraz kontaminasyonu önler (proses ekipmanı temizliği, temiz oda ortam bakımı)