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超純水処理設備 8000gph チップ産業用 ROマシン+EDIユニット

  • Ultrapure Water Treatment Equipment 8000gph For Chip Industry With RO Machine + EDI Unit
  • Ultrapure Water Treatment Equipment 8000gph For Chip Industry With RO Machine + EDI Unit
起源の場所 シェンゼン,中国
ブランド名 HongJie
証明 ISO 14001,ISO 9001,CE,EPA
モデル番号 HJ-UPWCh30T
最小注文数量 >=1セット
価格 US$66200~US$66500
パッケージの詳細 エクスポート標準 木製ケース
受渡し時間 1-7日 (原材料のストックによって異なります)
支払条件 L/C,D/P,T/T,ウェスタン・ユニオン
供給の能力 >300セット/月

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商品の詳細
流量 30m³/h（カスタマイズ可能） 耐性 (25°C) ≥18.2 MΩ·cm（純水の理論最大値）
基本プロセス 二重通過逆浸透膜 + EDI コアコンポーネント RO膜モジュール、EDIユニット
動作モード 十分に自動化される 製品の特徴 安定した水質の出力,低運用コスト
電力供給 380V トー・コ ≤5ppb (いくつかの高度なプロセスは ≤1ppbを必要とします)
粒子計算 0.1μmの粒子≤1個/mL; 0.05μmの粒子≤10個/mL メタルイオン濃度 主要金属 (例えばFe,Cu,Na,K) ≤1ppt
ハイライト

超純水処理装置 8000gph

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チップ産業 超純水処理設備

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8000gph 超純水処理
メッセージ
製品の説明

水処理設備のサプライヤー 8000gph 超純粋な水 チップ産業のための水 ROマシン+EDIユニット

 

I.概要
チップ (集積回路) の製造において,超純水 (UPW) は欠かせない重要な補助材料であり,しばしば半導体産業の命綱と呼ばれています.微塵などの微塵を除去する高精度な清掃,稀释,またはプロセス反応への参加によって,チップの出力,性能,そして信頼性.

 

II.プロセス
1. メインストリームプロセス (14nm以上のプロセスノードに適用可能):
Raw Water → Multi-media Filtration → Activated Carbon → Ultrafiltration (UF) → Primary RO → Secondary RO → EDI → UV (185+254 nm) → Degasification → Polishing Mixed Bed → Final Ultrafiltration → Point of Use (POU)

2. 先進プロセス (7nm以下の先進プロセスに適している):
生水 → 超濾過 → 二段階RO → 連続電離化 (CEDI) → 紫外線 (185nm) → 膜脱ガス → 核級磨き混合床 → 0.05μm 最終過濾 → 再循環分流システム

 

III.パラメータ

パラメータカテゴリ チップ製造要件
耐性 (25°C) ≥18.2 MΩ·cm (純粋な水の理論上最大値)
総有機炭素 (TOC) ≤5ppb (いくつかの高度なプロセスは ≤1ppbを必要とします)
粒子数 0.1μm ≤1粒子/mLの粒子; 0.05μm ≤10粒子/mLの粒子
メタルイオン濃度 主要金属 (例えばFe,Cu,Na,K) ≤1ppt
バクテリア と 内毒素 バクテリア ≤1 CFU/100mL エンドトキシン ≤0.03 EU/mL
溶けたガス 溶けた酸素 ≤5ppb;CO2 ≤1ppb

 

IV.コアアプリケーションシナリオ
ウェファーの清掃:デバイスの性能を確保するために微小汚染物質を除去する (物理洗浄,化学反応剤による清掃)
プロセス流体調製: 稀释剤または溶媒として使用 (光光剤の稀释,エッチング流体/開発流体調製)
設備と環境の清掃: 交差汚染を防ぐ (プロセス機器の清掃,クリーンルーム環境の維持)

 

V.ここに適切な引金を取得するためのガイドラインがあります

生水/水の源を教えて下さい (水道水,井戸水,海水など)
水分析報告 (TDS,導電性,抵抗性など) を提供する.
必要な生産能力 ((5m3/h,50m3/h,または500m3/h,など)
純粋な水は何のために使われますか (産業,食品,飲料,農業など)

 

 

 

札:

超純水設備

純水処理システム

浄水 システム