水処理設備のサプライヤー 8000gph 超純粋な水 チップ産業のための水 ROマシン+EDIユニット
I.概要 チップ (集積回路) の製造において,超純水 (UPW) は欠かせない重要な補助材料であり,しばしば半導体産業の命綱と呼ばれています.微塵などの微塵を除去する高精度な清掃,稀释,またはプロセス反応への参加によって,チップの出力,性能,そして信頼性.
II.プロセス 1. メインストリームプロセス (14nm以上のプロセスノードに適用可能): Raw Water → Multi-media Filtration → Activated Carbon → Ultrafiltration (UF) → Primary RO → Secondary RO → EDI → UV (185+254 nm) → Degasification → Polishing Mixed Bed → Final Ultrafiltration → Point of Use (POU)
2. 先進プロセス (7nm以下の先進プロセスに適している): 生水 → 超濾過 → 二段階RO → 連続電離化 (CEDI) → 紫外線 (185nm) → 膜脱ガス → 核級磨き混合床 → 0.05μm 最終過濾 → 再循環分流システム
III.パラメータ
IV.コアアプリケーションシナリオ ウェファーの清掃:デバイスの性能を確保するために微小汚染物質を除去する (物理洗浄,化学反応剤による清掃) プロセス流体調製: 稀释剤または溶媒として使用 (光光剤の稀释,エッチング流体/開発流体調製) 設備と環境の清掃: 交差汚染を防ぐ (プロセス機器の清掃,クリーンルーム環境の維持)
V.ここに適切な引金を取得するためのガイドラインがあります
生水/水の源を教えて下さい (水道水,井戸水,海水など) 水分析報告 (TDS,導電性,抵抗性など) を提供する. 必要な生産能力 ((5m3/h,50m3/h,または500m3/h,など) 純粋な水は何のために使われますか (産業,食品,飲料,農業など)