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Équipement de traitement de l'eau ultrapure 8000gph pour l'industrie des puces avec machine RO + unité EDI

  • Ultrapure Water Treatment Equipment 8000gph For Chip Industry With RO Machine + EDI Unit
  • Ultrapure Water Treatment Equipment 8000gph For Chip Industry With RO Machine + EDI Unit
Lieu d'origine Shenzhen, en Chine
Nom de marque HongJie
Certification ISO 14001,ISO 9001,CE,EPA
Numéro de modèle HJ-UPWCh30T
Quantité de commande min >=1 ensembles
Prix US$66200~US$66500
Détails d'emballage Casse en bois standard pour l'exportation
Délai de livraison 1-7 jours ouvrables (selon les stocks de matières premières)
Conditions de paiement L/C, D/P, T/T, Western Union
Capacité d'approvisionnement > 300 ensembles par mois

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Détails sur le produit
Débit 30m³/h (Personnalisable) Résistance (25°C) ≥18,2 MΩ·cm (Valeur maximale théorique de l'eau pure)
Processus de base L'osmose inverse à double passage + EDI Composants de base Modules à membrane RO, unités EDI
Mode de fonctionnement Entièrement automatisé Caractéristiques du produit Produit de qualité de l'eau stable, faibles coûts d'exploitation
L'approvisionnement en électricité 380V CdT ≤ 5 ppb (certains procédés avancés nécessitent ≤ 1 ppb)
comptage de particules Particules de 0,1 μm ≤ 1 particule/mL; Particules de 0,05 μm ≤ 10 particules/mL Concentration d'ions métalliques Métaux clés (par exemple Fe, Cu, Na, K) ≤ 1 ppt
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Équipement de traitement de l'eau ultrapure 8000gph

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Équipement de traitement de l'eau ultrapure pour l'industrie des puces

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Traitement de l'eau ultrapure à 8000 gph
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Description de produit

Équipement de traitement de l'eau 8000gph Eau ultrapure pour l'industrie des puces avec machine RO + unité EDI

 

I.Vie d'ensemble
Dans la fabrication de puces (circuits intégrés), l'eau ultrapure (UPW) est un matériau auxiliaire indispensable, souvent appelé le "sang vital" de l'industrie des semi-conducteurs.La fonction principale est d'éliminer les traces d'impuretés (par exemple les particules, des ions métalliques et des composés organiques) de la surface des plaquettes par un nettoyage, une dilution ou une participation à des réactions de procédé de haute précision, ce qui a une incidence directe sur le rendement, les performances,et fiabilité.

 

II.Procédure
1.Processus principal (applicable aux nœuds de processus de 14 nm et plus):
Raw Water → Multi-media Filtration → Activated Carbon → Ultrafiltration (UF) → Primary RO → Secondary RO → EDI → UV (185+254 nm) → Degasification → Polishing Mixed Bed → Final Ultrafiltration → Point of Use (POU)

2. procédé avancé (convient pour les procédés avancés de 7 nm et inférieurs):
L'eau brute → Ultrafiltration → RO en double étape → Electro-désionisation continue (CEDI) → Ultraviolet (185 nm) → Dégazage par membrane → Lit mixte de polissage de qualité nucléaire → 0.05 μm Système de distribution de filtration finale → de recirculation

 

III.Paramètres

Catégorie de paramètres Exigences relatives à la fabrication des puces
Résistance (25°C) ≥ 18,2 MΩ·cm (valeur maximale théorique de l'eau pure)
Le carbone organique total (COT) ≤ 5 ppb (certains procédés avancés nécessitent ≤ 1 ppb)
Nombre de particules Particules de 0,1 μm ≤ 1 particule/mL; Particules de 0,05 μm ≤ 10 particules/mL
Concentration d'ions métalliques Métaux clés (par exemple Fe, Cu, Na, K) ≤ 1 ppt
Les bactéries et les endotoxines Bactéries ≤ 1 UFC/100 ml; Endotoxine ≤ 0,03 UE/mL
Gases dissous Oxygène dissous ≤ 5 ppb; CO2 ≤ 1 ppb

 

IV.Scénarios d'application de base
Nettoyage des plaquettes: élimine les micro-contaminants pour assurer les performances de l'appareil (renouvellement physique, nettoyage à l'aide de réactifs chimiques)
Préparation de fluide de procédé: Utilisé comme diluant ou solvant (préparation de dilution photorésiste, de fluide de gravure/de fluide de développement)
Nettoyage des équipements et de l'environnement: empêche la contamination croisée (nettoyage des équipements de traitement, entretien de l'environnement des salles blanches)

 

V. Voici une ligne directrice pour vous d'obtenir un devis approprié

Indiquez l'eau brute/la source d'eau ((eau du robinet, eau de puits ou eau de mer, etc.)
Fournir un rapport d'analyse de l'eau ((TDS, conductivité ou résistivité, etc.)
Capacité de production requise ((5m3/h, 50m3/h ou 500m3/h, etc.)
Quelle est l'utilisation de l'eau pure (industrielle, alimentaire et des boissons, ou l'agriculture, etc.)

 

 

 

Étiquettes:

Équipement pour l'eau ultrapure

Système de traitement de l'eau pure

Système d'eau purifiée