Εξοπλισμός επεξεργασίας νερού υπερκαθαρότητας 8000gph για τη βιομηχανία τσιπ με μηχανή RO + μονάδα EDI

Προμηθευτές Εξοπλισμού Επεξεργασίας Νερού 8000gph Υπερκαθαρό Νερό Για τη Βιομηχανία Τσιπ Με Σύστημα RO + Μονάδα EDI

I. Επισκόπηση
Στην κατασκευή τσιπ (ολοκληρωμένων κυκλωμάτων), το υπερκαθαρό νερό (UPW) είναι ένα απαραίτητο βασικό βοηθητικό υλικό, που συχνά αναφέρεται ως το “ζωτικό αίμα της βιομηχανίας ημιαγωγών.” Η βασική του λειτουργία είναι να απομακρύνει ίχνη ακαθαρσιών (όπως σωματίδια, ιόντα μετάλλων και οργανικές ενώσεις) από την επιφάνεια των πλακιδίων μέσω καθαρισμού υψηλής ακρίβειας, αραίωσης ή συμμετοχής σε αντιδράσεις διεργασίας, επηρεάζοντας άμεσα την απόδοση, την απόδοση και την αξιοπιστία των τσιπ.

II. Διεργασία
1. Κύρια διεργασία (εφαρμόσιμη σε κόμβους διεργασίας 14nm και άνω):
Ακατέργαστο νερό → Φιλτράρισμα πολλαπλών μέσων → Ενεργός άνθρακας → Υπερδιήθηση (UF) → Πρωτεύον RO → Δευτερεύον RO → EDI → UV (185+254 nm) → Αποαέρωση → Μικτό κρεβάτι στίλβωσης → Τελική υπερδιήθηση → Σημείο χρήσης (POU)

2. Προηγμένη διεργασία (κατάλληλη για προηγμένες διεργασίες 7nm και κάτω):
Ακατέργαστο νερό → Υπερδιήθηση → Διπλό-σταδιακό RO → Συνεχής Ηλεκτρο-αποϊονισμός (CEDI) → Υπεριώδες (185 nm) → Μεμβρανώδης αποαέρωση → Μικτό κρεβάτι στίλβωσης πυρηνικής ποιότητας → 0,05μm Τελικό φιλτράρισμα → Σύστημα ανακυκλοφορίας διανομής

III. Παράμετροι

IV. Βασικά σενάρια εφαρμογής
Καθαρισμός πλακιδίων: Αφαιρεί μικρο-μολυσματικούς παράγοντες για να εξασφαλίσει την απόδοση της συσκευής (φυσικό ξέπλυμα, καθαρισμός με χημικά αντιδραστήρια)
Προετοιμασία υγρών διεργασίας: Χρησιμοποιείται ως αραιωτικό ή διαλύτης (αραίωση φωτοανθεκτικού, προετοιμασία υγρού χάραξης/υγρού ανάπτυξης)
Καθαρισμός εξοπλισμού και περιβάλλοντος: Αποτρέπει τη διασταυρούμενη μόλυνση (καθαρισμός εξοπλισμού διεργασίας, συντήρηση περιβάλλοντος καθαρού δωματίου)