نظام معالجة مياه مخصص 30 طن/ساعة للمياه فائقة النقاء لسائل تلميع CMP

I.المراجعة العامة
المياه النقية للغاية هي مكون أساسي لا غنى عنه في حلول التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP)مع نقائها التي تحدد مباشرة أداء محلول التلميع ومستوى القطعفي تصنيع أشباه الموصلات ، يجب أن تلبي حلول البوليسة CMP متطلبات التسطيح على مستوى نانومتر ،والماء النقي جدا يلعب دورا حاسما ويلبي المتطلبات التقنية الصارمة في هذا التطبيق.
في حلول التلميع CMP، الماء النقي للغاية ليس فقط محلول ولكن أيضا مكون نشط يحدد توحيد التلميع، ومعدلات العيوب، وموثوقية الشريحة.نظام المياه النقية للغاية متوافق مع معيار SEMI F63-1109 هو حجر الزاوية لتحقيق معدل إنتاج يتجاوز 95% في العمليات المتقدمة (7nm وأقل).

II.العملية القياسية
Municipal Tap Water → Pretreatment (Multi - media Filtration) → Activated Carbon Adsorption (Residual Chlorine Removal) → Two - stage RO → EDI (Electrodeionization) Continuous Deionization → Mixed Bed Polishing → 185/254nm UV→ 0.05μm التصفية الفوقية → غشاء إزالة الغازات → النيتروجين - خزان تخزين مغلق → أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ 316L → خط إنتاج سلال CMP

III.المعلمات

IV. الوظائف الأساسية للمياه النقية للغاية في سائل التلميع CMP
حامل المذيب
وسط التفاعل
مكافحة الملوثات

هنا دليل لك للحصول على اقتباس مناسب
أخبرنا عن المياه الخام/مصدر المياه ((مياه الصنبور، مياه البئر، أو مياه البحر، إلخ)
تقديم تقرير تحليل المياه ((TDS ، الموصلات ، أو المقاومة ، الخ)
القدرة الإنتاجية المطلوبة ((5m3/H، 50m3/H،أو 500m3/H،الخ)
ما هي المياه النقية المستخدمة ل ((الصناعية، الغذاء والمشروبات، أو الزراعة، الخ))