Προσαρμοσμένη επεξεργασία νερού 30 τόνους/ώρα Σύστημα υπερκαθαρού νερού για υγρό γυάλωσης CMP

I. Επισκόπηση
Το εξαιρετικά καθαρό νερό είναι ένα απαραίτητο βασικό συστατικό στα διαλύματα στίλβωσης χημικής μηχανικής στίλβωσης (CMP), με την καθαρότητά του να καθορίζει άμεσα την απόδοση του διαλύματος στίλβωσης και την απόδοση των τσιπ. Στην κατασκευή ημιαγωγών, τα διαλύματα στίλβωσης CMP πρέπει να πληρούν τις απαιτήσεις επιπέδωσης νανομέτρων και το εξαιρετικά καθαρό νερό διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο και πληροί αυστηρές τεχνικές απαιτήσεις σε αυτήν την εφαρμογή. 
Στα διαλύματα στίλβωσης CMP, το εξαιρετικά καθαρό νερό δεν είναι μόνο ένας διαλύτης, αλλά και ένα ενεργό συστατικό που καθορίζει την ομοιομορφία στίλβωσης, τα ποσοστά ελαττωμάτων και την αξιοπιστία των τσιπ. Ένα σύστημα εξαιρετικά καθαρού νερού που συμμορφώνεται με το πρότυπο SEMI F63-1109 είναι ο ακρογωνιαίος λίθος για την επίτευξη ρυθμού απόδοσης που υπερβαίνει το 95% σε προηγμένες διεργασίες (7nm και κάτω).

II. Τυπική  Διαδικασία
Δημοτικό νερό βρύσης → Προεπεξεργασία (Φιλτράρισμα πολλαπλών μέσων) → Προσρόφηση ενεργού άνθρακα (Αφαίρεση υπολειμματικού χλωρίου) → Δύο σταδίων RO → EDI (Ηλεκτροαποιονισμός) Συνεχής αποιονισμός → Στίλβωση μικτού κρεβατιού → 185/254nm UV→ Υπερδιήθηση 0,05μm → Μεμβράνη απαερίωσης → Δεξαμενή αποθήκευσης σφραγισμένη με άζωτο → Σωληνώσεις από ανοξείδωτο χάλυβα 316L → Γραμμή παραγωγής πολτού CMP

III. Παράμετροι

IV. Οι βασικές λειτουργίες του εξαιρετικά καθαρού νερού στο υγρό στίλβωσης CMP
Φορέας διαλύτη
Μέσο αντίδρασης
Έλεγχος ρύπων

V. Ακολουθεί μια καθοδήγηση για να λάβετε μια σωστή προσφορά
Πείτε μας την πηγή νερού (νερό βρύσης, νερό πηγαδιού ή θαλασσινό νερό κ.λπ.)
Παρέχετε αναφορά ανάλυσης νερού (TDS, αγωγιμότητα ή αντίσταση κ.λπ.)
Απαιτούμενη παραγωγική ικανότητα (5m³/H, 50m³/H ή 500m³/H κ.λπ.)
Σε τι χρησιμοποιείται το καθαρό νερό (βιομηχανικό, τρόφιμα και ποτά ή γεωργία κ.λπ.)