Điều trị nước tùy chỉnh 30tons / h Hệ thống nước tinh khiết cho chất lỏng đánh bóng CMP

I. Tổng quan
Nước siêu tinh khiết là một thành phần cốt lõi không thể thiếu trong dung dịch đánh bóng hóa học cơ học (CMP), với độ tinh khiết của nó quyết định trực tiếp hiệu suất của dung dịch đánh bóng và tỷ lệ chip. Trong sản xuất chất bán dẫn, dung dịch đánh bóng CMP phải đáp ứng các yêu cầu san phẳng ở cấp độ nanomet, và nước siêu tinh khiết đóng một vai trò quan trọng và đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật nghiêm ngặt trong ứng dụng này. 
Trong dung dịch đánh bóng CMP, nước siêu tinh khiết không chỉ là một dung môi mà còn là một thành phần hoạt động quyết định tính đồng nhất của việc đánh bóng, tỷ lệ khuyết tật và độ tin cậy của chip. Một hệ thống nước siêu tinh khiết tuân thủ tiêu chuẩn SEMI F63-1109 là nền tảng để đạt được tỷ lệ sản lượng vượt quá 95% trong các quy trình tiên tiến (7nm trở xuống).

II. Quy trình tiêu chuẩn
Nước máy đô thị → Tiền xử lý (Lọc đa phương tiện) → Hấp thụ than hoạt tính (Loại bỏ clo dư) → RO hai giai đoạn → EDI (Điện phân liên tục) Khử ion → Đánh bóng giường hỗn hợp → UV 185/254nm → Siêu lọc 0,05μm → Màng khử khí → Bể chứa kín khí nitơ → Đường ống thép không gỉ 316L → Dây chuyền sản xuất bùn CMP

III. Thông số

IV. Các chức năng cốt lõi của nước siêu tinh khiết trong dung dịch đánh bóng CMP
Chất mang dung môi
Môi trường phản ứng
Kiểm soát chất gây ô nhiễm

V. Dưới đây là hướng dẫn để bạn có được báo giá phù hợp
Cho chúng tôi biết nước thô/nguồn nước (nước máy, nước giếng hoặc nước biển, v.v.)
Cung cấp báo cáo phân tích nước (TDS, độ dẫn điện hoặc điện trở suất, v.v.)
Công suất sản xuất yêu cầu (5m³/H, 50m³/H hoặc 500m³/H, v.v.)
Nước tinh khiết được sử dụng để làm gì (công nghiệp, Thực phẩm và Đồ uống hoặc nông nghiệp, v.v.)