Tất cả sản phẩm
Điều trị nước tùy chỉnh 30tons / h Hệ thống nước tinh khiết cho chất lỏng đánh bóng CMP
| Nguồn gốc | Thâm Quyến, Trung Quốc |
|---|---|
| Hàng hiệu | HongJie |
| Chứng nhận | ISO 14001,ISO 9001,CE,EPA |
| Số lượng đặt hàng tối thiểu | 1 bộ |
| Giá bán | US$66200~US$66500 |
| chi tiết đóng gói | Vỏ gỗ tiêu chuẩn xuất khẩu |
| Thời gian giao hàng | 1-7 ngày làm việc (tùy thuộc vào việc dự trữ nguyên vật liệu) |
| Điều khoản thanh toán | L/C, D/P, T/T, Western Union |
| Khả năng cung cấp | > 300 lần/tháng |
Liên hệ với tôi để lấy mẫu miễn phí và phiếu giảm giá.
WhatsApp:0086 18588475571
WeChat: 0086 18588475571
Skype: sales10@aixton.com
Nếu bạn có bất kỳ mối quan tâm nào, chúng tôi cung cấp hỗ trợ trực tuyến 24 giờ.
xThông tin chi tiết sản phẩm
| Tỷ lệ dòng chảy | 30T/h (có thể tùy chỉnh) | chất lượng nước | Điện trở suất ≥18,2 MΩ · cm (25 ° C) |
|---|---|---|---|
| TOC | ≤1 ppb | Các hạt | ≤5 hạt/ml (.05,05μm) |
| Quá trình cốt lõi | Thẩm thấu ngược đôi thông thường + edi + nhựa đánh bóng | Chế độ hoạt động | hoàn toàn tự động |
| Cung cấp điện | 380V/220V | Tính năng sản phẩm | Chất lượng nước ổn định, chi phí hoạt động thấp, hiệu suất đáng tin cậy |
| Làm nổi bật | Thiết bị nước siêu tinh khiết công nghiệp,Hệ thống nước siêu tinh khiết tùy chỉnh |
||
Mô tả sản phẩm
I. Tổng quan
Nước siêu tinh khiết là một thành phần cốt lõi không thể thiếu trong dung dịch đánh bóng hóa học cơ học (CMP), với độ tinh khiết của nó quyết định trực tiếp hiệu suất của dung dịch đánh bóng và tỷ lệ chip. Trong sản xuất chất bán dẫn, dung dịch đánh bóng CMP phải đáp ứng các yêu cầu san phẳng ở cấp độ nanomet, và nước siêu tinh khiết đóng một vai trò quan trọng và đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật nghiêm ngặt trong ứng dụng này.
Trong dung dịch đánh bóng CMP, nước siêu tinh khiết không chỉ là một dung môi mà còn là một thành phần hoạt động quyết định tính đồng nhất của việc đánh bóng, tỷ lệ khuyết tật và độ tin cậy của chip. Một hệ thống nước siêu tinh khiết tuân thủ tiêu chuẩn SEMI F63-1109 là nền tảng để đạt được tỷ lệ sản lượng vượt quá 95% trong các quy trình tiên tiến (7nm trở xuống).
II. Quy trình tiêu chuẩn
Nước máy đô thị → Tiền xử lý (Lọc đa phương tiện) → Hấp thụ than hoạt tính (Loại bỏ clo dư) → RO hai giai đoạn → EDI (Điện phân liên tục) Khử ion → Đánh bóng giường hỗn hợp → UV 185/254nm → Siêu lọc 0,05μm → Màng khử khí → Bể chứa kín khí nitơ → Đường ống thép không gỉ 316L → Dây chuyền sản xuất bùn CMP
III. Thông số
| Thông số | Yêu cầu | |||
| Điện trở suất | ≥18.2 MΩ·cm (25°C) | |||
| TOC | ≤1 ppb | |||
| Hạt | ≤5 hạt/mL (≥0.05μm) | |||
| Oxy hòa tan | ≤10 ppb | |||
| Ion kim loại | Na⁺/K⁺ < 0.01 ppb | |||
| Fe/Cu/Al < 0.005 ppb | ||||
| Anion | Cl⁻/SO₄²⁻ < 0.02 ppb | |||
| Vi sinh vật | < 0.1 CFU/mL | |||
IV. Các chức năng cốt lõi của nước siêu tinh khiết trong dung dịch đánh bóng CMP
Chất mang dung môi
Môi trường phản ứng
Kiểm soát chất gây ô nhiễm
V. Dưới đây là hướng dẫn để bạn có được báo giá phù hợp
Cho chúng tôi biết nước thô/nguồn nước (nước máy, nước giếng hoặc nước biển, v.v.)
Cung cấp báo cáo phân tích nước (TDS, độ dẫn điện hoặc điện trở suất, v.v.)
Công suất sản xuất yêu cầu (5m³/H, 50m³/H hoặc 500m³/H, v.v.)
Nước tinh khiết được sử dụng để làm gì (công nghiệp, Thực phẩm và Đồ uống hoặc nông nghiệp, v.v.)
Sản phẩm khuyến cáo
