การบําบัดน้ําตามสั่ง ระบบน้ําบริสุทธิ์สุด 30tons / h สําหรับ CMP Polishing Fluid
สถานที่กำเนิด | เซินเจิ้น ประเทศจีน |
---|---|
ชื่อแบรนด์ | HongJie |
ได้รับการรับรอง | ISO 14001,ISO 9001,CE,EPA |
จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ | 1 ชุด |
ราคา | US$66200~US$66500 |
รายละเอียดการบรรจุ | ส่งออกกล่องไม้มาตรฐาน |
เวลาการส่งมอบ | 1-7 วันทำการ (ขึ้นอยู่กับการสต็อกวัตถุดิบ) |
เงื่อนไขการชำระเงิน | L/C,D/P,T/T,Western union |
สามารถในการผลิต | > 300Sets/เดือน |

ติดต่อฉันเพื่อตัวอย่างฟรีและคูปอง
Whatsapp:0086 18588475571
วีแชท: 0086 18588475571
สกายเป้: sales10@aixton.com
หากคุณมีปัญหา เราให้ความช่วยเหลือออนไลน์ตลอด 24 ชั่วโมง
xอัตราการไหล | 30T/H (ปรับแต่งได้) | คุณภาพน้ำ | ความต้านทาน≥≥18.2MΩ· cm (25 ° C) |
---|---|---|---|
สารบัญ | ≤1 ppb | อนุภาค | ≤5อนุภาค/มล. (≥0.05μm) |
กระบวนการหลัก | double-pass reverse osmosis + edi + polishing resin | โหมดการทำงาน | อัตโนมัติเต็ม |
แหล่งจ่ายกระแสไฟฟ้า | 380V/220V | คุณสมบัติของสินค้า | คุณภาพน้ำที่มั่นคงต้นทุนการทำงานต่ำประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ |
เน้น | อุปกรณ์สําหรับน้ําที่บริสุทธิ์มากในอุตสาหกรรม,ระบบน้ําที่บริสุทธิ์สุดที่สามารถปรับเปลี่ยนได้ |
I. ภาพรวม
น้ำบริสุทธิ์พิเศษเป็นส่วนประกอบหลักที่ขาดไม่ได้ในสารละลายขัดเงาแบบเคมีกล (CMP) โดยความบริสุทธิ์ของน้ำจะส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของสารละลายขัดเงาและผลผลิตของชิป ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ สารละลายขัดเงา CMP จะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดการปรับระนาบระดับนาโนเมตร และน้ำบริสุทธิ์พิเศษมีบทบาทสำคัญและเป็นไปตามข้อกำหนดทางเทคนิคที่เข้มงวดในการใช้งานนี้
ในสารละลายขัดเงา CMP น้ำบริสุทธิ์พิเศษไม่เพียงแต่เป็นตัวทำละลายเท่านั้น แต่ยังเป็นส่วนประกอบสำคัญที่กำหนดความสม่ำเสมอในการขัดเงา อัตราข้อบกพร่อง และความน่าเชื่อถือของชิป ระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษที่สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI F63-1109 เป็นรากฐานสำคัญในการบรรลุอัตราผลตอบแทนที่สูงกว่า 95% ในกระบวนการขั้นสูง (7nm และต่ำกว่า)
II. มาตรฐาน กระบวนการ
น้ำประปาเทศบาล → การปรับสภาพเบื้องต้น (การกรองแบบหลายสื่อ) → การดูดซับคาร์บอนกัมมันต์ (การกำจัดคลอรีนตกค้าง) → RO สองขั้นตอน → EDI (Electrodeionization) การกำจัดไอออนอย่างต่อเนื่อง → การขัดเงาแบบผสม → UV 185/254nm → การกรองพิเศษ 0.05μm → เมมเบรนกำจัดก๊าซ → ถังเก็บไนโตรเจน → ท่อสแตนเลส 316L → สายการผลิตสารละลาย CMP
III. พารามิเตอร์
พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด | |||
ความต้านทาน | ≥18.2 MΩ·cm (25°C) | |||
TOC | ≤1 ppb | |||
อนุภาค | ≤5 อนุภาค/mL (≥0.05μm) | |||
ออกซิเจนที่ละลาย | ≤10 ppb | |||
ไอออนโลหะ | Na⁺/K⁺ < 0.01 ppb | |||
Fe/Cu/Al < 0.005 ppb | ||||
ไอออนลบ | Cl⁻/SO₄²⁻ < 0.02 ppb | |||
จุลินทรีย์ | < 0.1 CFU/mL |
IV. หน้าที่หลักของน้ำบริสุทธิ์พิเศษในของเหลวขัดเงา CMP
ตัวพาตัวทำละลาย
ตัวกลางปฏิกิริยา
การควบคุมสารปนเปื้อน
V. นี่คือแนวทางเพื่อให้คุณได้รับใบเสนอราคาที่เหมาะสม
บอกเราเกี่ยวกับน้ำดิบ/แหล่งน้ำ (น้ำประปา น้ำบาดาล หรือน้ำทะเล ฯลฯ)
ให้รายงานการวิเคราะห์น้ำ (TDS, การนำไฟฟ้า หรือความต้านทาน ฯลฯ)
กำลังการผลิตที่ต้องการ (5m³/H, 50m³/H หรือ 500m³/H ฯลฯ)
น้ำบริสุทธิ์ใช้สำหรับอะไร (อุตสาหกรรม อาหารและเครื่องดื่ม หรือการเกษตร ฯลฯ)