CMP Parlatma Sıvısı İçin Özel 30 ton/saat Ultra Saf Su Sistemi

I.Özet
Ultra saf su, kimyasal mekanik cilalama (CMP) cilalama çözümlerinde vazgeçilmez bir çekirdek bileşendir.saflığı doğrudan cilalama çözeltisinin performansını ve çip verimini belirleyenYarım iletken üretiminde, CMP cilalama çözümleri nanometre düzeyinde düzleştirme gereksinimlerini karşılamalıdır.ve ultra saf su bu uygulamada kritik bir rol oynar ve sıkı teknik gereksinimleri karşılar..
CMP cilalama çözümlerinde ultra saf su sadece bir çözücü değil aynı zamanda cilalama tekdüzeliğini, kusur oranlarını ve yonga güvenilirliğini belirleyen aktif bir bileşendir.SEMI F63-1109 standardına uygun ultra saf bir su sistemi, gelişmiş süreçlerde (7nm ve aşağı) % 95'in üzerinde bir verim oranına ulaşmak için temel taştır..

II.Standart Süreç
Municipal Tap Water → Pretreatment (Multi - media Filtration) → Activated Carbon Adsorption (Residual Chlorine Removal) → Two - stage RO → EDI (Electrodeionization) Continuous Deionization → Mixed Bed Polishing → 185/254nm UV→ 0.05μm Ultrafiltrasyon → Degazing Membranı → Azot - Kapalı Depolama Tankı → 316L Paslanmaz Çelik Boruları → CMP Çamur Üretim hattı

III.Parametreler

IV.CMP cilalama sıvısında ultra saf suyun temel işlevleri
Solvent taşıyıcısı
Reaksiyon ortamı
Kirletici kontrolü

V.İşte size uygun bir teklif almak için bir kılavuz.
Bize ham suyu/su kaynağını söyle ((çöp suyu, kuyu suyu veya deniz suyu vb.)
Su analizi raporu ((TDS, iletkenlik veya direnç, vb.)
Gerekli üretim kapasitesi ((5m3/H, 50m3/H veya 500m3/H, vb.)
Temiz su ne için kullanılır? Endüstriyel, Gıda ve İçecek, tarım, vb.