Maatwerk Waterzuivering 30 ton/u Ultra Zuiver Watersysteem Voor CMP Polijstvloeistof

I.Overzicht
Ultrazuiver water is een onmisbaar kernbestanddeel in poleringsoplossingen voor chemisch mechanisch polijsten (CMP).met een zuiverheid die rechtstreeks de prestaties van de poetsoplossing en de chipopbrengst bepaaltBij de vervaardiging van halfgeleiders moeten CMP-poetsoplossingen voldoen aan de vereisten voor planarisatie op nanometerniveau.en ultrazuiver water een cruciale rol spelen en voldoen aan de strenge technische eisen in deze toepassing.
In CMP-poetsoplossingen is ultrazuiver water niet alleen een oplosmiddel, maar ook een actief onderdeel dat de uniformiteit van het polijsten, de gebreken en de betrouwbaarheid van de chips bepaalt.Een ultrazuiver waterstelsel dat voldoet aan de SEMI-norm F63-1109 is de hoeksteen voor het bereiken van een rendement van meer dan 95% in geavanceerde processen (7 nm en lager).

II.Standaardproces
Municipal Tap Water → Pretreatment (Multi - media Filtration) → Activated Carbon Adsorption (Residual Chlorine Removal) → Two - stage RO → EDI (Electrodeionization) Continuous Deionization → Mixed Bed Polishing → 185/254nm UV→ 0.05μm Ultrafiltratie → Ontgasmembraan → stikstof - verzegelde opslagtank → 316L roestvrijstalen buizen → CMP-slurry productielijn

III.Parameters

IV.De kernfuncties van ultrazuiver water in CMP-poetsvloeistof
oplosmiddeldrager
Reactiemiddel
Contaminantenbestrijding

V. Hier is een richtlijn voor u om een goede offerte te krijgen
Vertel ons het ruwe water/de bron van water ((kraanwater, putwater of zeewater, enz.))
Verstrek een wateranalyseverslag (TDS, geleidbaarheid of weerstand, enz.)
Vereiste productiecapaciteit ((5m3/h, 50m3/h of 500m3/h, enz.)
Wat is het zuivere water gebruikt voor ((industrie, voedsel en drank, of landbouw, enz.)