همه محصولات
سیستم تصفیه آب سفارشی 30 تن در ساعت برای سیال پولیش CMP آب فوق خالص
برای نمونه ها و کوپن های رایگان با من تماس بگیرید.
واتساپ:0086 18588475571
ویچت: 0086 18588475571
اسکایپ: sales10@aixton.com
اگر شما هر گونه نگرانی دارید، ما 24 ساعت کمک آنلاین ارائه می دهیم.
xجزئیات محصول
| نرخ جریان | 30t/h (قابل تنظیم) | کیفیت آب | مقاومت ≥ 18.2 MΩ · سانتی متر (25 درجه سانتیگراد) |
|---|---|---|---|
| TOC | PPB 1 PPB | ذرات | ذرات 5/میلی لیتر (0.05 میکرومتر) |
| روند اصلی | اسموز معکوس دوتایی + EDI + رزین جلا دادن | حالت کاربری | کاملا اتوماتيك |
| تامین برق | 380V/220V | ویژگی های محصول | کیفیت آب پایدار ، هزینه کم کار ، عملکرد قابل اعتماد |
| برجسته کردن | تجهیزات صنعتی آب بسیار خالص,سیستم های آب فوق خالص قابل تنظیم,Customizable Ultrapure Water Systems |
||
توضیحات محصول
I. مروری
آب فوق خالص یک جزء اصلی ضروری در محلول‌های پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP) است و خلوص آن مستقیماً عملکرد محلول پولیش و بازده تراشه را تعیین می‌کند. در تولید نیمه‌رساناها، محلول‌های پولیش CMP باید الزامات مسطح‌سازی در سطح نانومتر را برآورده کنند و آب فوق خالص نقش مهمی ایفا می‌کند و الزامات فنی سختگیرانه‌ای را در این کاربرد برآورده می‌کند.
در محلول‌های پولیش CMP، آب فوق خالص نه تنها یک حلال است، بلکه یک جزء فعال است که یکنواختی پولیش، میزان نقص و قابلیت اطمینان تراشه را تعیین می‌کند. یک سیستم آب فوق خالص مطابق با استاندارد SEMI F63-1109 سنگ بنای دستیابی به نرخ بازدهی بیش از 95٪ در فرآیندهای پیشرفته (7 نانومتر و کمتر) است.
II. فرآیند استاندارد
آب لوله کشی شهری → پیش تصفیه (فیلتراسیون چند رسانه‌ای) → جذب کربن فعال (حذف کلر باقیمانده) → RO دو مرحله‌ای → EDI (الکترودایونیزاسیون) یون‌زدایی پیوسته → پولیش بستر مخلوط → UV 185/254 نانومتر → اولترافیلتراسیون 0.05 میکرومتر → غشای گاززدایی → مخزن ذخیره سازی با مهر و موم نیتروژن → لوله کشی استیل ضد زنگ 316L → خط تولید دوغاب CMP
III. پارامترها
| پارامترها | الزامات | |||
| مقاومت | ≥18.2 MΩ·cm (25°C) | |||
| TOC | ≤1 ppb | |||
| ذرات | ≤5 ذرات/mL (≥0.05μm) | |||
| اکسیژن محلول | ≤10 ppb | |||
| یون‌های فلزی | Na⁺/K⁺ < 0.01 ppb | |||
| Fe/Cu/Al < 0.005 ppb | ||||
| آنیون‌ها | Cl⁻/SO₄²⁻ < 0.02 ppb | |||
| میکروارگانیسم‌ها | < 0.1 CFU/mL | |||
IV. عملکردهای اصلی آب فوق خالص در سیال پولیش CMP
حامل حلال
محیط واکنش
کنترل آلودگی
V. در اینجا یک راهنما برای دریافت یک نقل قول مناسب وجود دارد
منبع آب خام/منبع آب (آب لوله کشی، آب چاه یا آب دریا و غیره) را به ما بگویید
گزارش تجزیه و تحلیل آب (TDS، هدایت یا مقاومت و غیره) را ارائه دهید
ظرفیت تولید مورد نیاز (5 متر مکعب در ساعت، 50 متر مکعب در ساعت یا 500 متر مکعب در ساعت و غیره)
آب خالص برای چه چیزی استفاده می شود (صنعتی، مواد غذایی و آشامیدنی یا کشاورزی و غیره)
محصولات توصیه شده
